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18905301689现代无尘尊龙凯时-人生就是搏是由美国物理学家威利斯·惠特菲尔德发明的。惠特菲尔德作为桑迪亚国家尊龙凯时-人生就是搏的雇员,于1966年为无尘尊龙凯时-人生就是搏设计了最初的设计方案。在惠特菲尔德发明之前,早期的无尘尊龙凯时-人生就是搏经常遇到颗粒和不可预测的气流的问题。Whitfield设计的无尘尊龙凯时-人生就是搏具有恒定的且经过严格过滤的气流来保持空间内的洁净。
硅谷的大部分集成电路制造设施由三家公司制造:MicroAire,PureAire和Key Plastics。他们制造了层流装置,手套箱,洁净尊龙凯时-人生就是搏和空气淋浴器,以及用于集成电路“湿法工艺”建造的化学罐和工作台。这三家公司也是将特氟龙用于气枪,化学泵,洗涤器,水枪和其他集成电路生产所需设备的先驱。William(Bill)C.McElroy Jr.曾担任三家公司的工程经理,制图室主管,QA/QC和设计师,他的设计为当时的技术增加了45项原始专利。
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